Мішень для розпилення танталу

Танталова мішень для розпиленняце матеріал, який використовується для виготовлення тонких плівок, зазвичай використовується для виготовлення електронних компонентів, електронного обладнання та магнітних носіїв запису, для виготовлення напівпровідникових приладів, металевих плівок, магнітних матеріалів, оптичних покриттів та інших областей. Зазвичай він виготовляється з металевого матеріалу високої чистоти танталу, а його поверхня може бути оброблена хімічним шляхом або механічно відполірована для отримання достатньої площинності та обробки для забезпечення рівномірності та якості покриття. Танталова мішень має корозійну стійкість, високотемпературну стабільність і гарну стійкість до окислення, що відповідає вимогам суворих високоточних процесів підготовки.

Він має чудові фізичні властивості, такі як висока температура плавлення, висока термічна стабільність, висока щільність, низький коефіцієнт розширення та низький питомий опір. Він також має високу корозійну стійкість і може протистояти ерозії сильних корозійних середовищ, таких як вольфрамова кислота, фтористий водень і плавикова кислота.

Мішень із танталу, як правило, готують шляхом термічної обробки, холодної обробки та процесів порошкової металургії. Термічна обробка включає кування, екструзію, прокатку тощо. Холодна обробка включає фрезерування, свердління, токарну обробку тощо. Процеси порошкової металургії включають спікання, гаряче ізостатичне пресування, плазмове напилення тощо.

Танталове напилення мішень - це мішень, виготовлена ​​з металевого танталу, і її хімічні властивості в основному проявляються в таких аспектах:

1) Стійкість до корозії: матеріали з танталу мають хорошу корозійну стійкість, можуть протистояти ерозії багатьох сильних кислот і лугів, а також можуть протистояти агресивним газам, таким як окислення, сульфідація та хлорування.

2) Висока температура плавлення: тантал має високу температуру плавлення 3017 градусів, тому він має стійкість до високих температур.

3) Стабільність: танталові матеріали мають високу хімічну стабільність і можуть зберігати свої притаманні хімічні властивості від зміни навколишнього середовища.

4) Провідність: Тантал є чудовим провідним матеріалом з хорошою електропровідністю та електричними властивостями, і широко використовується в електронній та напівпровідниковій промисловості.

Таким чином, танталова мішень має такі хімічні властивості, як стійкість до корозії, висока температура плавлення, стабільність і провідність.

Танталова мішень - це матеріал, який використовується для фізичного випаровування, нижче наведені деякі з його основних фізичних властивостей:

• Щільність: його щільність становить 16,65 г/см3 (при кімнатній температурі).
• Температура плавлення: Його температура плавлення становить 2996 градусів Цельсія.
• Корозійна стійкість: має відмінну корозійну стійкість і може стабільно працювати в інертних газах і більшості органічних кислот і лугів.
• Провідність: це чудовий електронний провідник, і його провідність може досягати 15,3 MS/m.
• Магнітний: це немагнітний матеріал.
• Коефіцієнт теплового розширення: його коефіцієнт теплового розширення становить 6,3 × 10^-6 К^-1.

Слід зазначити, що на фізичні характеристики танталової мішені впливатимуть різні виробники, тому при її виборі та використанні слід поцікавитися її конкретними фізичними параметрами.

Процес виробництва танталової мішені виглядає наступним чином:

1) Виберіть і підготуйте основний матеріал: виберіть високоякісний металевий танталовий матеріал і виріжте або відлийте його у потрібну форму.

2) Обробка поверхні: Обробка поверхні напиленням танталу мішені, включаючи механічне полірування, електролітичне полірування тощо, щоб гарантувати, що поверхня є гладкою та чистою та відповідає вимогам до поверхні підготовки мішені.

3) Покриття: помістіть мішень у вакуумну камеру та використовуйте такі методи, як фізичне осадження з парової фази (PVD) або хімічне осадження з парової фази (CVD) для нанесення покриття.

4) Різання та очищення: розріжте покриту мішень необхідного розміру та проведіть очищення та перевірку якості.

5) Упаковка та транспортування: упаковка та транспортування підготовленої мішені.

Вище наведено загальний процес підготовки, а конкретні методи підготовки та процеси можуть відрізнятися залежно від розміру, товщини та областей застосування різних мішеней.

Принцип роботи: він поміщається у вакуумну камеру під час процесу підготовки плівки, і за допомогою фізичного осадження з парової фази, магнетронного розпилення, фізичного осадження з парової фази електронним променем тощо металева сировина, така як тантал, перетворюється на однорідну, щільну та чудову кристалічність. фільм.

Танталове напилення target в основному використовується у виробництві електронних компонентів, таких як конденсатори та транзистори. Крім того, танталова мішень також використовується у виробництві оптоелектронних матеріалів, обробці поверхні, антикорозійних покриттів та інших областях. Його висока хімічна стабільність і стійкість до корозії, а також хороша міцність і термічна стабільність роблять танталову мішень одним із матеріалів, які вибирають для багатьох критичних застосувань, таких як аерокосмічна, військова, медицина та енергетика.

Популярні Мітки: танталова мішень для напилення, Китай, виробники та постачальники танталової мішені для напилення